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文章概述：位错栅检测可以使用扫描电子显微镜（SEM）。SEM 可以提供高分辨率的图像，用于观察位错栅的形态和分布。
还可以使用 X 射线衍射仪（XRD）。XRD 可以用于分析位错栅的晶体结构和取向。
位错栅检测可以使用扫描电子显微镜（SEM）。SEM 可以提供高分辨率的图像，用于观察位错栅的形态和分布。
还可以使用 X 射线衍射仪（XRD）。XRD 可以用于分析位错栅的晶体结构和取向。
原子力显微镜（AFM）也可用于位错栅检测。AFM 能够提供表面形貌和粗糙度等信息。
