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文章概述：电子显微镜：用于观察位错的形态、分布和结构。
X 射线衍射仪：可以分析位错引起的晶体结构变化。
原子力显微镜：能够检测位错对表面形貌的影响。
扫描隧道显微镜：可在位错研究中
电子显微镜：用于观察位错的形态、分布和结构。
X 射线衍射仪：可以分析位错引起的晶体结构变化。
原子力显微镜：能够检测位错对表面形貌的影响。
扫描隧道显微镜：可在位错研究中提供高分辨率的表面信息。
正电子湮没谱仪：用于研究位错附近的缺陷和空位。
