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文章概述：X 射线衍射法：通过分析晶体的衍射图谱来检测位错割阶。
电子显微镜法：直接观察晶体中的位错割阶。
原子力显微镜法：可用于高分辨率的位错割阶检测。
X 射线衍射法：通过分析晶体的衍射图谱来检测位错割阶。
电子显微镜法：直接观察晶体中的位错割阶。
原子力显微镜法：可用于高分辨率的位错割阶检测。
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