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文章概述：外延生长基底检测主要用于评估外延生长基底的质量和性能。常见的外延生长基底检测对象包括但不限于：半导体材料：如硅、锗等。化合物半导体：如砷化镓、磷化铟等。蓝宝石：用于生长
外延生长基底检测主要用于评估外延生长基底的质量和性能。
常见的外延生长基底检测对象包括但不限于：
半导体材料：如硅、锗等。
化合物半导体：如砷化镓、磷化铟等。
蓝宝石：用于生长 GaN 等材料。
碳化硅：用于生长 SiC 等材料。
硅基片：用于集成电路制造。
外延层：生长在基底上的薄膜。
晶体结构：检测基底的晶体结构和缺陷。
表面平整度：评估基底表面的平整度和粗糙度。
电学性能：测量基底的电阻率、载流子浓度等电学参数。
光学性能：检测基底的透光率、反射率等光学参数。
