光学直角器检测丨北京中科光析科学技术研究所

光学直角器检测

文章概述：光学直角器检测是几何量计量领域的重要技术手段，主要针对直角测量器具的几何精度与光学性能进行系统性验证。核心检测项目包括直角偏差、棱镜角度误差、反射面平面度等关键参数，适用于精密机械加工、光学仪器制造及计量标准器具的质量控制。检测过程严格遵循ISO9039、GB/T17163等标准规范。

1. 直角精度：测量误差≤±2"，重复性误差≤0.5"

2. 棱镜角度偏差：工作面夹角90°±3"，面形误差λ/4@632.8nm

3. 反射面平面度：局部误差≤0.1μm/100mm，整体平面度≤0.3μm

4. 材料均匀性：折射率偏差Δn≤±5×10⁻⁶

5. 镀膜性能：反射率≥95%@450-650nm，膜层硬度≥8H

1. 金属加工件：数控机床导轨、坐标测量机框架等直角结构件

2. 光学棱镜：直角棱镜、五角棱镜等分光元件

3. 精密模具：注塑模具模架、冲压模具基座

4. 计量器具：方箱、角尺等量具基准件

5. 航天部件：卫星支架、火箭发动机安装座

1. ISO 9039:2008《光学和光子学光学元件和系统制图要求》

2. GB/T 17163-2008《几何量测量器具术语基本术语》

3. ASTM E177-14《测量不确定度的表示和应用指南》

4. JJG 194-2007《直角尺检定规程》

5. DIN 876-2《直角测量器具的检验方法》

1. 激光干涉仪（HP5529A）：分辨率0.001"，用于直角精度验证

2. 数字式自准直仪（TAKEO EZ-AIM60）：测量范围±1000"，精度±0.1"

3. 三坐标测量机（ZEISS PRISMO ultra）：空间精度0.6+L/400μm

4. 平面干涉仪（ZYGO Verifire MST）：波长632.8nm，PV值测量精度λ/100

5. 光谱椭偏仪（J.A.Woollam M-2000UI）：膜厚测量精度±0.1nm

6. 精密测角仪（Leitz TTM320）：角度分辨率0.01"，重复性0.05"

7. 表面粗糙度仪（Taylor Hobson Talysurf i120）：纵向分辨率0.8nm

8. 环境控制箱（ESPEC PL-3KPH）：温控±0.1℃，湿度±2%RH

9. 激光跟踪仪（API Radian Core）：最大测距40m，空间精度15μm+6μm/m

10. 数字显微硬度计（Wilson VH1150）：载荷范围10gf-2000gf

报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。

检测周期：7~15工作日，可加急。

资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。

标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。

非标测试：支持定制化试验方案。

售后：报告终身可查，工程师1v1服务。