因您的需求、实验方案、检测样品、测试过程不同，相应的参考标准请咨询在线工程师！
文章概述：等离子体气体检测是工业与科研中分析气体成分及反应特性的关键技术，重点涵盖电子密度、温度分布、活性粒子浓度等核心参数。检测需依据ASTM、ISO及GB/T标准，采用光谱分析、质谱联用等方法，适用于半导体制造、环保监测等领域。本文系统梳理检测项目、方法及设备选型要点，为精准评估等离子体工艺效能提供技术参考。
检测项目
1. 电子密度测量：范围109-1012 cm-3，精度±5%
2. 气体温度分析：覆盖300-10000K区间，分辨率±20K
3. 活性粒子浓度：包括O*/N*/H*等自由基物种（ppm级）
4. 等离子体电势：测量范围±200V，响应时间≤1μs
5. 发射光谱特征：波长范围200-900nm，光栅分辨率0.05nm
检测范围
1. 半导体材料：硅片/氮化镓基板的刻蚀残留气体
2. 光学薄膜：TiO2/SiO2镀膜工艺反应腔体气氛
3. 医疗器械：高分子材料表面改性产生的挥发性有机物
4. 环保领域：工业废气处理中的NOx/SOx分解产物
5. 新能源器件：锂离子电池电极材料制备过程副产物
检测方法
1. ASTM E3061-17 等离子体发射光谱分析法
2. ISO 13370:2020 质谱联用定量检测规程
3. GB/T 39123-2020 微波谐振腔诊断技术规范
4. IEC 62859-2016 等离子体工艺气体纯度测试导则
5. GB/T 40148-2021 Langmuir探针测量实施规范
检测设备
1. Hiden ESPion 等离子体诊断系统：实时监测电子温度/密度分布
2. Ocean Optics HR4000光谱仪：200-1100nm全波段采集（光学分辨率0.035nm）
3. Agilent 5977B GC-MS：痕量气体成分定性定量分析（检出限0.1ppb）
4. Keysight N9030B信号分析仪：射频功率谐波测量（频率范围3Hz-50GHz）
5. Tektronix MSO64示波器：高速采集等离子体瞬态信号（带宽6GHz）
6. Pfeiffer Vacuum QMG 700质谱仪：多组分气体在线监测（质量数1-1000amu）
7. Impedans Langmuir探针：自动扫描I-V特性曲线（功率密度0.1-10W/cm³）
8. Horiba PG-250颗粒计数器：纳米级副产物粒径分布统计（粒径范围10nm-10μm）
9. Fluke Ti450红外热像仪：非接触式温度场成像（热灵敏度≤0.03℃）
10. MKS Baratron压力计：真空环境动态压力监控（量程0.1mTorr-1000Torr）
北京中科光析科学技术研究所【简称：中析研究所】
报告：可出具第三方检测报告(电子版/纸质版)。
检测周期：7~15工作日，可加急。
资质：旗下实验室可出具CMA/CNAS资质报告。
标准测试：严格按国标/行标/企标/国际标准检测。
非标测试：支持定制化试验方案。
售后：报告终身可查，工程师1v1服务。
